ka | en
ინტეგრალური მიკროსქემების ელემენტების შექმნის დაბალტემპერატურული ტექნოლოგიის დამუშავება
ავტორი: ზურაბ ყუშიტაშვილისაკვანძო სიტყვები: პლაზმა, კატალიზატორი
ანოტაცია:
მიკრო და ნანო ხელსაწყოს ფუნქციონალური განვითარების ძირითადი ტენდეციაა ინტეგრაციის ხარისხის და სწრაფქმედების განუხრელი ზრდა და მათი შექმნის ტექნოლოგიის ტემპერატურის შემცირება. ყოველივე ეს ხორციელდება სქემის ელემენტების გეომეტრიული ზომების შემცირებით და მათი მიღების ტექნოლოგიაში ახალი დაბალტემპერატურული პროცესების დანერგვით
მიმაგრებული ფაილები:
presentation011079 [ka]